Wolfram-Zielscheibe

Internationale Entsprechung

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Bereits im 17. Jahrhundert stellte Jean Labruyère fest, dass es mehr Werkzeuge als Handwerker gab.

Vorteile

Wolframsputtern ist außerordentlich hitzebeständig (W schmilzt bei +3422°C), hat einen hohen Elastizitätsmodul und eine hohe thermische Kriechfestigkeit, den niedrigsten Wärmeausdehnungskoeffizienten aller Werkstoffe, eine hohe Festigkeit, Zuverlässigkeit und Haltbarkeit.

Nachteile

Als Nachteil sind die hohen Herstellungskosten zu nennen. Wolfram ist ein seltenes Metall, das in seiner reinen Form schwer zu isolieren ist und sich nicht leicht bearbeiten lässt.

Herstellung und Verwendung

Targets aus Wolfram werden als flache Platten oder Scheiben, Rohre und nach Kundenzeichnungen in verschiedenen Konfigurationen mit den in den Zeichnungen angegebenen Abmessungen und Toleranzen hergestellt. Für Targets mit komplexer Form wird die Bearbeitung von mit Kupfer imprägnierten Pulverstapeln angewandt. Nach der Bearbeitung wird das Kupfer im Vakuum geglüht, wobei der Pulverrohling auf 90% Dichte verdichtet wird. Wolframrohre können durch Ultraschall-Stabformung hergestellt werden. Die strikte Einhaltung von Fertigungstechniken und Materialreinheit gewährleistet eine hohe Festigkeit und Hitzebeständigkeit. Der Preis richtet sich nach der Komplexität der Konfiguration, der Größe und den zusätzlichen Anforderungen, die in der Bestellung angegeben werden. Sie werden für die Abscheidung dünner Schichten auf Solarzellen, Scheiben für optische Instrumente usw. verwendet .

Sorten von Wolframtargets:

- V-PM

- V-PPM

- BA

- CSVD

Grenzgrößen für flache Targets:

- Scheibenförmige Targets Ø630 mm;

- rechteckige Targets: 400x1550 mm;

Standard-Target-Parameter:

- 44,000″ x 4,75″ x 0,71″.

- 3,17-9,5x304,8 mm

- 812x127x8 mm

- 14x108x1462 mm

- 15x133x778 mm

- 18x248x300 mm

- 214x1600x11 mm

- Ø322 mmx δ

- Øn157xØn125L1900 mm

- Øn152xØn125xL800 mm

- Øn152xØn132,5xL750 mm

- Øn168xØn144xL1000 mm

- Øí165,5xØín125xL1650 mm

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